3D輪廓儀 / 形狀輪廓測量儀
可以“面”捕捉目標物的凹凸,瞬間測量大范圍的立體形狀。通過非接觸方式可最快1秒測量毛刺等細微形狀或表面粗糙度的粗糙度儀/輪廓測量儀。測量儀可自動判斷測量物的高度或大小、材質或顏色的靈敏度設定等。在減少測量錯誤、縮短時間的同時,不熟悉測量儀的人也可立即開始獲取數據。
產品陣容
產品特性
消除死角,光澤面也可測量
通過HDR 掃描算法,可測量的材料增加
通過旋轉、拼接消除死角后測量
一臺應對圖紙指示
以0.1 μm分辨率捕捉面整體,最快1秒進行高精度3D測量
不再需要區別使用測量儀
產品特性
激光顯微系統的基本特點
觀察
從光學顯微鏡到SEM領域一臺設備涵蓋
- 42 至 28800 倍
- 無需對焦
- 適用于多種樣品
測量
非接觸瞬間掃描形狀
- 不會損傷目標物
- 納米級別也可準確測量
- 透明體和坡度大的目標物也可測量
分析
希望了解的表面“差異”一目了然
- 定量化微小形狀
- 輕松比較多個樣品
- 粗糙度分析
三重掃描方式
解決“難以測量”的難題
可根據樣品工件的材料、形狀和測量范圍,選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,進行高精度測量。