微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計

SI-F 系列

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產品規格 微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計 SI-F 系列

型號

SI-F01

SI-F10

SI-F80

圖像

類型

微型傳感頭型 傳感頭

長距離型 傳感頭

厚度測量型 傳感頭

測量范圍

0.05 至 1.1 mm *1

11.3 至 12.35 mm *1

0.05 至 1.1 mm *6
(可實現的檢測距離: 80 至 81.1 mm)

測量用光源

紅外 SLD 中心波長 820 nm 輸出 0.6 mW, 1 類激光產品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2)

光束直徑

?20 μm*3

?40 μm*3

?20 μm*3

線性度

±0.3 μm*4

±0.3 μm*7

分辨率

0.25 μm *5

采樣周期

200 μs

導向光源

紅色半導體激光 波長 655 nm 輸出 0.1 mW, 1 類激光產品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2)

LED顯示

目標靠近測量中心:綠光。目標在測量范圍內:橙光。目標在測量范圍外:橙光閃爍。0.01% 的 F.S./°C

溫度波動

F.S.的0.01%

環境抗耐性

外殼防護級

IP67

IP64

環境光照

白熾燈/熒光燈:最大 10,000 lux

環境溫度

0 至 +85 °C

0 至 +40 °C

0 至 +50 °C

相對濕度

35 至 85 % RH (無凝結)

抗震性

10 至 55 Hz、雙振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 個小時

材料

SUS

材料

傳感頭

分光單元

聚碳酸酯

重量

約 24 g (含連接線)

約 38 g (含連接線)

約 39 g (含連接線)

*1 表示與傳感頭正面的距離。對于長距離型傳感頭,會出現最大 ±0.2 mm 的個別差異。
*2 FDA 的激光分類以 Laser Notice 和 IEC60825-1 為依據。
*3 表示量測範圍內的最小光束直徑。
*4 當測量對象是玻璃板并將平均測量次數設為 256 時獲得的值。
*5 當測量位于測量范圍中心的玻璃板表面并將平均測量次數設為 4,096 時獲得的值。
*6 厚度測量型傳感頭顯示玻璃板間距的測量范圍。請確保測量對象位于檢測距離范圍內。
*7 當測量兩塊玻璃板間隙并將平均測量次數設為 256 時獲得的值。

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型號

SI-F1003V

SI-FA103

圖像

類型

主控制器一體型

擴展控制器*3

獨立型

SI-F1003/SI-FD500

SI-FA103

可連接的光譜單元數

2

1

顯示

最小顯示單位

0.001 μm

顯示范圍

±999.999 μm 至 ±9,999.99 mm,(可選 7 種設定)

顯示周期

10 次/秒

端子臺

激光遠程聯鎖輸入

無電壓輸入*1

*1

定時 1 輸入

無電壓輸入 2*1

復位 1 輸入

無電壓輸入*1

自動調零1 輸入

激光控制輸入

模擬電壓輸出

±10 V x 2 輸入,輸出阻抗: 100 ?*1

±10 V x 1 輸入,輸出阻抗: 100 ?*1

模擬電流輸出

4 至 20 mA x 2 輸出,最大負載阻抗: 350 ?*1

4 至 20 mA x 1 輸出,最大負載阻抗: 350 ?*1

警報輸出

NPN 開集極輸出(N.C.)*1

*1

通用比較器輸出

NPN 開集極輸出*1

擴展接口

定時輸入

無電壓輸入 2*1

復位輸入

無電壓輸入*1

自動調零輸入

程序切換輸入

無電壓輸入 x 3 輸入*1

警報輸出

NPN 開集極輸出(N.C.)*1

比較器/ 二進制 輸出

二進制輸出

測量數據輸出 (21 位), 可選 OUT 的 NPN 開集極輸出*1

選通脈沖輸出

NPN 開集極輸出*1

二進制選擇輸出

二進制選擇輸入

無電壓輸入*1

RS-232C 接口

測量數據輸出和控制輸入/輸出 (波特率最高可選擇 115200 bps)

USB 接口

兼容 2.0 HighSpeed(兼容 USB 1.1 Full-SPEED)

Ethernet 接口

100Base-TX/10Base-T

主要功能

12 個 OUT 同時測量
計算、平均、濾波器、換算測量、測量值警報、容差設定、自動調零,數據存儲, 光線監控器、8 程序存儲器、干涉計模式、遮罩、設定支持軟件連接等。

額定

電源電壓

24 VDC ±10 %、紋波 (P-P) 10 % 以下

隨主控制器提供

消耗電流

連接 1 個傳感頭時: 0.6 A 以下、連接 6 個傳感頭時: 1.5 A 以下。

環境抗耐性

環境溫度

0 至 +50 °C*2

相對濕度

35 至 85 % RH (無凝結)

抗震性

10 至 55 Hz、雙振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 個小時

重量

約 600 g

約 300 g

*1 ? NPN 開極集極額定輸出:最大 50 mA(最大 40 V),殘余電壓:最大 0.5 V。
? 無電壓額定輸入:啟動電壓:最大 1 V,關閉電流:最大 0.6 mA。
? SI 系列的部分輸入/輸出電路是內部共用電路。請注意,內部公共端之間不會因連接線/外部設備之間的電位差而產生電位差。
要了解詳細信息,請參見“接線注意事項”。
*2 當連接兩個或更多擴展控制器時,環境溫度為 0 至 +40 °C。
*3 最多可在主控制器上連接 4 個擴展控制器。

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