分光干涉位移型多層膜厚測量儀

SI-T 系列

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分光干涉位移型多層膜厚測量儀 SI-T 系列

從單層到多層，可以實現在線穩定測量

追求“易用性”，使導入變得更為簡單。融合 KEYENCE 的激光位移計和分光干涉計，改變了當今膜厚測量儀的傳統概念。

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多層膜厚測量儀

實現多層膜厚, 采用近紅外光?沒有危害, 實時在線檢測,一秒1000次的采樣頻率,為當今膜厚測量儀的提供新的可能性。

產品特性

粘附層也可以穩定測量

借助 KEYENCE配備的光量累計功能，
類似粘附層等粗糙的表面，也可以實現穩定測量。

實現廣范圍測量

在拉伸制程等過程中，可以應用于上游至下游的各種場所。

針對測量場景量身定制的陣容

多層位移測量型 SI-T10

參考距離 : 9 mm | 測量范圍 : 0.01 ～ 1.0 mm | 特點 : 簡便測量多層膜 / 可測量位移 / ?8 mm &設定距離9 mm 的空間節省型

長距離厚度測量型 SI-T80

參考距離 : 80 mm | 測量范圍 : 0.01 ～ 1.0 mm | 特點 : 設定80 mm 的長距離 / 抗工件抖動 / 有利于高溫工件

應用

在制程內測量基材厚

涂布后的濕膜厚度測量